Das weltweit kleinste "Chip-Thermometer" kann winzigste, durch Fehler verursachte Temperaturunterschiede auf Mikrochips entdecken und messen.
Das Chip-Thermometer ist kleiner als ein tausendstel Haardurchmesser (circa 100 Nanometer) und wurde von Dr. Ivo W. Rangelow und seinen Mitarbeitern am Institut für Mikrostrukturtechnologie und Analytik (IMA) der Universität Kassel entwickelt.
Tausendstel Grad messbar
Das neue Werkzeug ermöglicht, Temperaturen mit der Genauigkeit von einem tausendstel Grad Celsius auf einer Skala mit einer Auflösung in der Größenordnung von einem Nanometer zu messen.
Es wird verwendet um sogenannte heiße Stellen eines Mikrochips zu erkennen und damit Fehlerquellen zu lokalisieren.
Messprinzip Das Nano-Thermometer besteht aus einem Nanodraht mit einem Durchmesser von ca. 100 nm (Nanometer) in Form einer Thermoschleife. Als Messprinzip wird das Verhalten des elektrischen Thermoschleifenwiderstandes bei einer Temperaturveränderung genutzt. Darüber hinaus wird die Thermoschleife auf einen weichen Biegebalken gebracht und kann damit gleichzeitig als Abtastspitze, mittels Kraftwechselwirkungen mit der Oberfläche, die Topologie des Chips abbilden.
