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Neue Methode zur Nanostruktur-Massenproduktion  
  Eine neue Methode zur Massenproduktion von Mikro- und Nanostrukturen haben Linzer Wissenschaftler entwickelt - mittels Lasertechnik: Diese galt bislang zwar als vielfältig, für die Massenproduktion jedoch als zu langsam.  
Unter der Leitung von Dieter Bäuerle haben die Forscher von der Abteilung für Angewandte Physik am Institut für Experimentalphysik der Universität Linz einen Laserstrahl mittels winziger Glaskugeln vervielfacht und gleichzeitig fokussiert.
Winzige Strukturen auf einer Oberfläche
Die einzelnen Lichtpunkte sind derart intensiv, dass damit auf einer Oberfläche winzige Strukturen geschaffen werden können - und das bis zu Milliarden Mal in einem Arbeitsgang.
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"Laser-Processing" in der Mikrostrukturtechnik
Für die Massenproduktion werden in der Mikrostrukturtechnik heute meist indirekte Verfahren mit mehreren Arbeitsgängen eingesetzt. Etwa bei der Herstellung von Mikrochips oder mikromechanischen Bauelementen wird lichtempfindlicher Lack auf einen Träger aus Silizium aufgebracht. Anschließend wird mit Hilfe einer Maske an bestimmten Stellen belichtet und - je nach Verfahren - entweder die belichteten oder unbelichteten Regionen weggeätzt. Beim so genannten Laser-Processing wird dagegen ein Laserstrahl direkt dazu verwendet, um auf einem Träger winzige Strukturen abzutragen, bestimmte Stoffe punktförmig abzuscheiden oder auch die Oberfläche chemisch-physikalisch umzuwandeln.
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Nachteil bislang: Zu langsam für die Massenproduktion
"Die Möglichkeiten dieses Laser-Processing sind sehr vielfältig und erlauben insbesondere auch die Herstellung dreidimensionaler Strukturen", sagte dazu Klaus Piglmayer von der Uni Linz gegenüber der APA.

Das Laser-Processing hat den einzigen Nachteil, dass der Prozess für viele Anwendungen, insbesondere für die Massenproduktion, zu langsam ist. Und genau hier setzen die Forschungen der Linzer Wissenschafter an.
Glaskügelchen fokusieren Laserstrahl
Sie beschichten dazu einen Quarzträger mit winzigen Glaskügelchen im Bereich von tausendstel Millimetern Durchmesser. Für die Beschichtung werden die Kügelchen, die in Wasser schweben, auf einen Glasträger aufgebracht.

Bei geregelter Verdampfung des Wassers ordnen sich die Kügelchen von selbst zu einer regelmäßigen, sechseckigen Struktur an. Wird der beschichtete Träger dann von der Rückseite mit einem Laserstrahl beleuchtet, fokussieren die Glaskügelchen den Strahl in winzige Teilstrahlen.

Nun muss man nur noch dafür sorgen, dass das Werkstück - etwa ein Chip - nahe genug an die Kügelchen gebracht wird, denn diese fokussieren den Strahl im Bereich von einem tausendstel Millimeter. Ist dies geschafft, kann die Massenproduktionen von winzigsten Werkstücken beginnen.
Suche nach Partnern aus der Industrie
Derzeit suchen die Linzer Forscher nach Partnern aus der Industrie, um die neue Methode in der Praxis einzusetzen. Das bisherige Projekt wurde vom Infrastrukturministerium finanziert.
->   Abt. für Angewandte Physik am Institut für Experimentalphysik der Uni Linz
Beiträge aus dem Bereich der Nanowelt in science.ORF.at:
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01.01.2010